真空熱處理是國內外正在采用的比較先進的熱處理方法，在真空熱處理中，往往離不開使用氮氣。當鋼鐵件在真空爐中加熱時，若真空程度過高，則為防止工件材料中的合金元素揮發，需對爐中回充適量的氮氣，以提離爐內微量氣體的壓力。在真空加熱油淬的真空淬火過程中，有時為了保證或提高淬火油的冷卻能力，需在工件冷卻之前，向真空爐中回充足夠的氮氣。在高壓氣淬時，需要快速向真空爐中充入高于一個大氣壓的氮氣。在鋼件真空回火時，在抽真空后需回充氮氣以實現爐內保護氣體循環均勻加熱，以及實現回火后的快速冷卻。
真空熱處理所需的氮氣，有各種不同的來源。由于液氮的密度遠比氮氣大，體積遠比氮氣小，便于運輸和貯藏，而且在大量供應時價格也較便宜。所以，液氮是真空熱處理所用氮氣的重要來源之一。
在國外和我國上海等地，有不少廠家就使用較大的專用儲存罐，存放由液氮供應廠商專車運送來的液氮，并將由液氮逐漸汽化而成的氮氣用于真空熱處理。他們認為，使用液氮比使用瓶裝氮氣或采用制氮機制氮經濟合算。
